וואַקוום טעמפּערינג אויוון אויך פֿאַר אַנילינג, נאָרמאַלייזינג, יידזשינג
טעכנישער פּאַראַמעטער
| פּאַראַמעטער/ מאָדעל | פּי דזשעי-ה446 | פּי דזשעי-ה557 | פּי דזשעי-ה669 | פּי דזשעי-ה7711 | פּי דזשעי-ה8812 | פּי דזשעי-ה9916 |
| הייסע זאָנע (ל*ב*ה מ״מ) | 400*400* 600 | 500*500* 700 | 600*600* 900 | 700*700* 1100 | 800*800* 1200 | 900*900* 1600 |
| לאָד וואָג (קג) | 200 | 300 | 500 | 800 | 1200 | 2000 |
| מאַקס. טעמפּעראַטור (℃) | 750 | 750 | 750 | 750 | 750 | 750 |
| אויוון טעמפּעראַטור מונדיר (℃) | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 | ±5 |
| וואַקוום גראַד (פּאַ) | 4.0 E-1/ 6.7 E-3 | 4.0 E-1/ 6.7 E-3 | 4.0 E-1/ 6.7 E-3 | 4.0 E-1/ 6.7 E-3 | 4.0 E-1/ 6.7 E-3 | 4.0 E-1/ 6.7 E-3 |
| דרוק שטייגנדיקע ראטע (Pa/H) | ≤ 0.5 | ≤ 0.5 | ≤ 0.5 | ≤ 0.5 | ≤ 0.5 | ≤ 0.5 |
| לופט קיל דרוק (באַר) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| קיל גאַז | N2/Ar/He | N2/Ar/He | N2/Ar/He | N2/Ar/He | N2/Ar/He | N2/Ar/He |
שרייב דיין מעסעדזש דא און שיקט עס צו אונז
